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外形尺寸：L*W*H(单位mm)=2400×1300×2400mm(不含排风法兰2100mm)
腔室尺寸：H*W*D(单位mm)=800×800×800mm
外形尺寸：H*W*D(单位mm)=1760×1760×2100mm
腔室尺寸：H*W*D(单位mm)=1500×1200×600mm
外形尺寸：H*W*D(单位mm)=2100×2500×1500mm
适用场景：用于存放Reticle并将信息上传
适用场景：用于搬运和抓取FOUP或Reticle
适用场景：用于存储TC（石英细管）
适用场景：用于存储Parts、石英管/舟
适用场景： 存储易燃、易爆、腐蚀、有毒等危险化学药品
总部
北京分公司
地址：北京经济技术开发区科创十四街20号院嘉捷号BDA企业汇12号楼3层306室
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