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氮气柜 N2 Box

适用场景: 提供充满N2密闭空间,存储相关部件

维修保养推车 PM Car

适用场景:设备维护时相关工具、零部件摆放、移动

石英管推车 Tube Car

适用场景:用于运输转移石英炉管

无尘桌无尘椅子

适用场景:电子 新能源 实验室 半导体行业等各行业无尘车间

N2 Purge

设备功能:用于Load Port,提供氮气吹扫功能,达到降湿除尘的目的

Heater

设备功能:用于控制EFEM中Particle(颗粒物)含量,还可以控制EFEM中的酸碱有机物及RH(相对湿度)

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